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KASHIYAMA干式真空泵MU-X系列 節(jié)能，省電世界??！ （※排氣速度同級(jí)） 可嵌入所有制造裝置 2萬臺(tái)以上的出貨和超長期運(yùn)行實(shí)績

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KASHIYAMA快速排氣15萬L/min以上真空泵 SDL系列特點(diǎn) 晶圓、FPD的切實(shí)應(yīng)對(duì)大口徑化 通過組合大排氣量可化。15萬L/min以上滿足上面的要求

KASHIYAMA大口徑快速排氣真空泵SD系列 晶圓、FPD的切實(shí)應(yīng)對(duì)大口徑化 通過組合大排氣量可化。15萬L/min以上滿足上面的要求 高速排氣 縮短節(jié)拍時(shí)間，為了確保大氣側(cè)排氣速度，大型負(fù)載鎖定器，快速排氣推桿縮短時(shí)間。

KASHIYAMA高速排氣真空泵SDL系列 晶圓、FPD的切實(shí)應(yīng)對(duì)大口徑化 通過組合大排氣量可化。15萬L/min以上滿足上面的要求 高速排氣 縮短節(jié)拍時(shí)間，為了確保大氣側(cè)排氣速度，大型負(fù)載鎖定器，快速排氣推桿縮短時(shí)間。

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KASHIYAMA省能型大排氣量真空泵SDE系列 立式螺桿 特殊材料的高耐腐蝕性 以螺桿形狀 節(jié)省能源 支持所有進(jìn)程

KASHIYAMA耐工藝大排氣量真空泵SDE系列 立式螺桿 特殊材料的高耐腐蝕性 以螺桿形狀 節(jié)省能源 支持所有進(jìn)程

KASHIYAMA省電節(jié)能大排氣真空泵SDE系列 立式螺桿 特殊材料的高耐腐蝕性 以螺桿形狀 節(jié)省能源 支持所有進(jìn)程

KASHIYAMA特殊材質(zhì)高耐腐蝕性真空泵SDE系列 立式螺桿 特殊材料的高耐腐蝕性 以螺桿形狀 節(jié)省能源 支持所有進(jìn)程